Optiset mittaukset
Itä-Suomen yliopiston fysiikan ja matematiikan laitoksen puhdastilan elektronisädelitografialaboratoriot yhteydessä on erilaisia mittauslaitteistoja, joilla karakterisoidaan mikro- ja nanometrin suuruusluokkaa olevien rakenteiden ominaisuuksia.
Laitteistot
Elektronisädelitografialaboratorioon kuuluu mm. seuraavia laitteita
- Pyyhkäisyelektronimikroskooppi LEO 1550 Gemini
- Optinen profilometri Veeco WYKO NT9300
- Ellipsometri J.A. Woollam VASE
- Lukuisia laitteita valon sekä lasersäteiden ominaisuuksien määrittämistä varten
Hinta
Hinnoittelussa noudatetaan yliopiston vuosittain vahvistamaa tutkimuksen palvelumyynnin hinnoittelua.
Yhteyshenkilö
Yli-insinööri Pertti Pääkkönen
pertti.paakkonen[at]uef.fi
puh. 050 505 6376
Itä-Suomen yliopisto, Yliopistokatu 7, 80100 Joensuu