Optiset mittaukset

Optiset mittaukset

Itä-Suomen yliopiston fysiikan ja matematiikan laitoksen puhdastilan elektronisädelitografialaboratoriot yhteydessä on erilaisia mittauslaitteistoja, joilla karakterisoidaan mikro- ja nanometrin suuruusluokkaa olevien rakenteiden ominaisuuksia.

 

Laitteistot

Elektronisädelitografialaboratorioon kuuluu mm. seuraavia laitteita

  • Pyyhkäisyelektronimikroskooppi LEO 1550 Gemini
  • Optinen profilometri Veeco WYKO NT9300
  • Ellipsometri J.A. Woollam VASE
  • Lukuisia laitteita valon sekä lasersäteiden ominaisuuksien määrittämistä varten

 

Hinta

Hinnoittelussa noudatetaan yliopiston vuosittain vahvistamaa tutkimuksen palvelumyynnin hinnoittelua.

 

Yhteyshenkilö

Yli-insinööri Pertti Pääkkönen
pertti.paakkonen[at]uef.fi
puh. 050 505 6376
Itä-Suomen yliopisto, Yliopistokatu 7, 80100 Joensuu