Elektronisädelitografia

Elektronisädelitografialaboratorio

Itä-Suomen yliopiston fysiikan ja matematiikan laitoksen puhdastilan elektronisädelitografialaboratoriot mahdollistavat mikro- ja nanometrien suuruusluokkaa olevien pintarakenteiden valmistamisen joko suoraan pii- ja kvartsisubstraateille tai niiden pinnalle valmistettuun metalli- tai metallioksidikalvoon. Rakenteet voivat olla diffraktiohiloja tai muita diffraktiivisia rakenteita, valoaaltojohteita, pienten rakenteiden painolaattoja, jotka mahdollistavat rakenteiden kopioinnin muoveihin, jne. Näitä rakenteita hyödynnetään mm. fotoniikassa, kemiassa tai biotieteissä.

 

Laitteistot

Elektronisädelitografialaboratorioon kuuluu mm. seuraavia laitteita

  • Elektronisädekuviointilaite Vistec EBPG5000+ES
  • Pyyhkäisyelektronimikroskooppi LEO 1550 Gemini
  • Atomikerroskasvatuslaitteisto Beneq TFS-200
  • Reaktiiviset ionietsauslaitteistot Plasmalab 100 ICP ja Plasmalab 80
  • Tyhjiöhöyrystyslaitteisto Kur J. Lesker LAB 18
  • Optinen profilometri Veeco WYKO NT9300
  • Lukuisia muita elektronisädeliotografiaprosesseihin liittyviä laitteita

 

Hinta

Hinnoittelussa noudatetaan yliopiston vuosittain vahvistamaa tutkimuksen palvelumyynnin hinnoittelua.

 

Yhteyshenkilö

Yli-insinööri Pertti Pääkkönen
pertti.paakkonen@uef.fi
0505056376
Itä-Suomen yliopisto, Yliopistokatu 7, 80100 Joensuu