Optinen profilometri

Optinen profilometri

Optinen profilometri on pinnan muodon ja -laadun mittaukseen soveltuva kosketukseton menetelmä. Laite hyödyntää valon interferenssiä, mikä mahdollistaa näytteen pinnan muodon määrittämisen erittäin suurella tarkkuudella. Mittaustuloksesta voidaan määrittää pinnan kaarevuus, karheusarvot ISO 4288 standardin mukaisesti, Bearing ratio, jne. Edellytyksenä on, että mitattava näyte heijastaa valoa riittävän hyvin.

 

 Veeco WYKO NT9300

 

  • Phase Shift Interferometry (PSI) sekä Vertical Scan Interferometry (VSI)
  • Suurin näytekoko n. 200 mm x 200 mm, kork. 90 mm
  • Suurennukset 1,25x – 100 x
  • Resoluutio riippuu suurennuksesta 7 µm (1,25 x) tai 0,55 µm (50 x, 100 x)
  • Korkeusmittauksen toistettavuus 0,2 nm (PSI) tai 6 nm (VSI) (riippuu näytteen pinnanlaadusta)
  • Suurin mittausala riippuu suurennuksesta n. 50 mm x 50 mm (1,25 x) tai n. 0,7 mm x 0,7 mm (100 x)

Yhteyshenkilö

Yli-insinööri Pertti Pääkkönen
pertti.paakkonen[at]uef.fi
0505056376
Itä-Suomen yliopisto, Yliopistokatu 7, 80100 Joensuu